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行业知识

属于洁净度分级与常规检测的空气悬浮粒子计数



B1.属于洁净度分级与常规检测的空气悬浮粒子计数
B1.1 原理
本检测方法对如何测量阈值粒径0.1µm-5µm的空气悬浮粒子浓度作出规定.测量可在空态/静态和动态所有3种状态下进行.本方法用于设施符合GB/T 25915—2010规定洁净度的认证或验证,或用于GB/T 25915.2—2010规定的定期复检.B.1给出的方法源自IEST-G-CC1001:1999。
B1.2 检测规程
采样点数量,立博赌场-立博国际-立博官网:采样点位置的选择,洁净区级别的判定,所需数据的量,所有这些都要符合GB/T25915.1—2010的规定。B.1给出的是在每个采样点进行空气采样的基准方法。若供需双方另有协议,也可采用其他具有同样准确度并给出等效数据的方法。若无一致同意的其他方法或出现争议,则应使用本附录给出的基准方法。
B1.2.2 空气悬浮粒子计数规程
将离散立博赌场-立博国际-立博官网的采样头放在预定位置,设定计数器的流量,选择符合BG/T 25915.1—2010规定的粒径阀值。在单向流区域,所选择的采样探头应接近等动力采样,进入采样探头的风速与被采空气的风速偏差不应超过20%。若无法做到这一点,将采样口正对气流的主方向。在风速不受控或不可预测(例如非单向流)的采样点,采样口应竖直向上。采样口至粒子计数器传感器的连接管应尽量短。采样粒子大于或等于1µm时,连接管的长度和直径不应超过制造商的建议值。
采样过程中,因扩散造成的小粒子损失、因沉降与撞击造成的大粒子损失所产生的采样误差不应大于5%。
B1.3 空气悬浮粒子计数器
如C.1的介绍,离散粒子计数器(DPC)应能够对空气中的粒子进行计数、计径,其粒径辨别率应满足待测设施的洁净度判定要求。粒子计数器应能对规定粒径范围的粒子进行计数,并显示或记录,所用粒子计数器具有有效的校准证书。
B1.4 检测报告
根据供需双方的协议,对于设施洁净度分级或常规检测,第5章规定的检测报告及下述信息和数据应记录在案:
a)       离散粒子计数器的伪计数率;
b)       测量类型:洁净度分组还是监测;
c)       设施的洁净度级别;
d)       粒径范围和计数;
e)       离散粒子计数器采样口的采样流量,通过光敏区的流量;
f)        采样点位置;
g)       检测洁净度等级的采样协议,或监测用采样计划;
h)       占用状态;
i)         与测量有关的其他数据。
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